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产品描述
在2013年,**半导体行业的市场总规模达到了275亿美元,这个数字还将以每年5%的速度增长。中国将成为**较大的半导体产品生产地。因此半导体设备SEMI评估,已经受到越来越多的半导体相关厂家青睐和重视。半导体设备SEMI评估是SEMI国际标准部环境健康和安全会制定的一系列行业标准和准则,为**所认可,有利于企业降低生产成本、巩固市场并提率。
SEMIS2认证评估:
在电气/机械安全,化学暴露评估,通风,噪声,电离,非电离,激光,环境影响评估以及SEMIS2认证指南要求的其他领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估:
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离
非电离和场
雷射
声压级
相关文件
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMIS2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和**半导体制造设备的安全准则。
SEMIS2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来,SEMIS2涉及电气、机械、防火、化学、、噪音和防震等各方面的安全领域。
SEMI S2 适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2 适用于离子注入机、光刻设备和湿工作台。它适用于蚀刻机、掩模对准器、CVD、锯、旋涂机和晶圆厂中的任何其他设备。蚀刻机、注入机、清洁轨道、化学分配系统、散装气体分配、气柜、气源柜、计量系统、测试系统、CMP 系统、熔炉、子系统和工业激光器。
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