SEMI认证周期|SEMI认证申报流程

在1970年之前，半导体产业已累积至少10年的发展动能。这新兴的产业**收益虽仅有几百万美元，却汇聚了许多有远见的，共同开创一个半导体设备及材料供货商的聚焦论坛—这个组织正是「国际半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International)，也就是大家熟知的SEMI。
SEMI是国际半导体产业协会，主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
为了快速浏览，SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题：
危险警示标签（与SEMI S1有关）
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统（与SEMI S3有关）
人机工程学和人为因素（与SEMI S8有关）
危险能量隔离
雷射

SEMI常见安全标准：
SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。

SEMIS2认证评估:
在电气/机械安全，化学暴露评估，通风，噪声，电离辐射，非电离辐射，激光，环境影响评估以及SEMIS2认证指南要求的其他领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估：
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离辐射
非电离辐射和场
雷射
声压级
相关文件

SEMI是否有符合人体工程学的标准？
SEMI S8-半导体制造设备的人机工程学安全准则
这些准则为半导体制造设备提供了人机工程学设计原则和注意事项。这些准则的目的是在制造环境中促进用户与设备之间的兼容性。
SEMI S2 适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2 适用于离子注入机、光刻设备和湿工作台。它适用于蚀刻机、掩模对准器、CVD、锯、旋涂机和晶圆厂中的任何其他设备。蚀刻机、注入机、清洁轨道、化学分配系统、散装气体分配、气柜、气源柜、计量系统、测试系统、CMP 系统、熔炉、子系统和工业激光器。
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