SEMI( 半导体设备与材料的国际性组织 ) 是半导体工业的**执行联盟,成立于 1970 年,总部位于美国加州。 SEMI 之下的安全工作小组制定了一套适用于半导体及平面显示器制造设备的环境、安全及健康的效能的标准,由此发展出 SEMI S2 国际安全指引的工业评估应用方式。符合 SEMI S2 不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。 SEMI S2 以效能考量为主,涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来, SEMI S2 涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。 与其他 SEMI 指令,如 SEMI S8 (人体工学要求)和 SEMI S10 (风险评估)一起使用 ,SEMI S2 代表了半导体厂家的基本安全要求。 半导体业者为了降低机械危害的风险,采取非常多类别的防制与管理措施,其中较典型的措施是在采购设备系统时,将 SEMI S2 安规认证列为*的规格要求。
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