适用行业半导体行业
标准SEMI S2及SEMI S8
电压骤降SEMI F47
有效期5年
认证费用咨询客服
行业经验15年
认证周期1-3个月
流程准备样机现场检测
在1970年之前,半导体产业已累积至少10年的发展动能。这新兴的产业**收益虽仅有几百万美元,却汇聚了许多有远见的,共同开创一个半导体设备及材料供货商的聚焦论坛—这个组织正是「国际半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International),也就是大家熟知的SEMI。
SEMI是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI常见安全标准:
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等,其中S系列规定了环境健康安全(EHS)的要求。
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SEMI认证流程:
1.客户递交技术资料和认证申请
2.项目经理和确认标准,报价
3.客户准备资料,样品及测试费用
4.收到样品后准备测试计划
5.测试,如不通过则进行产品修改
6.审核
7.出具证书
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SEMIS2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和**半导体制造设备的安全准则。
SEMIS2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来,SEMIS2涉及电气、机械、防火、化学、、噪音和防震等各方面的安全领域。
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为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI S2 适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2 适用于离子注入机、光刻设备和湿工作台。它适用于蚀刻机、掩模对准器、CVD、锯、旋涂机和晶圆厂中的任何其他设备。蚀刻机、注入机、清洁轨道、化学分配系统、散装气体分配、气柜、气源柜、计量系统、测试系统、CMP 系统、熔炉、子系统和工业激光器。
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