在1970年之前,半导体产业已累积至少10年的发展动能。这新兴的产业**收益虽仅有几百万美元,却汇聚了许多有远见的,共同开创一个半导体设备及材料供货商的聚焦论坛—这个组织正是「国际半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International),也就是大家熟知的SEMI。
SEMI是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI是否有符合人体工程学的标准?
SEMI S8-半导体制造设备的人机工程学安全准则
这些准则为半导体制造设备提供了人机工程学设计原则和注意事项。这些准则的目的是在制造环境中促进用户与设备之间的兼容性。
SEMIS2认证评估:
在电气/机械安全,化学暴露评估,通风,噪声,电离辐射,非电离辐射,激光,环境影响评估以及SEMIS2认证指南要求的其他领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估:
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离辐射
非电离辐射和场
雷射
声压级
相关文件
SEMIS2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和**半导体制造设备的安全准则。
SEMIS2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来,SEMIS2涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI认证由半导体设备和材料国际 (SEMI) 贸易组织制定。两个重要的 SEMI 标准是:
SEMI S2:设备安全评估 - 设施安全评估
SEMI S8:人体工程学评估 - 人体工程学评估
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