适用行业半导体行业
标准SEMI S2及SEMI S8
电压骤降SEMI F47
有效期5年
认证费用咨询客服
行业经验15年
认证周期1-3个月
流程准备样机现场检测
在2013年,**半导体行业的市场总规模达到了275亿美元,这个数字还将以每年5%的速度增长。中国将成为**较大的半导体产品生产地。因此半导体设备SEMI评估,已经受到越来越多的半导体相关厂家青睐和重视。半导体设备SEMI评估是SEMI国际标准部环境健康和安全会制定的一系列行业标准和准则,为**所认可,有利于企业降低生产成本、巩固市场并提率。
SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小組为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系統的*的规格要求。主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
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SEMIS2认证评估:
在电气/机械安全,化学暴露评估,通风,噪声,电离,非电离,激光,环境影响评估以及SEMIS2认证指南要求的其他领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估:
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离
非电离和场
雷射
声压级
相关文件
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SEMI常见安全标准:
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等,其中S系列规定了环境健康安全(EHS)的要求。
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为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI S2 适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2 适用于离子注入机、光刻设备和湿工作台。它适用于蚀刻机、掩模对准器、CVD、锯、旋涂机和晶圆厂中的任何其他设备。蚀刻机、注入机、清洁轨道、化学分配系统、散装气体分配、气柜、气源柜、计量系统、测试系统、CMP 系统、熔炉、子系统和工业激光器。
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